Hoe werkt Magnetron Sputteren?
Magnetron sputteren is een PVD-methode (Physical Vapour Deposition), een klasse van vacuümdepositieprocessen voor het produceren van dunne films en coatings.
De naam "magnetron sputteren" komt voort uit het gebruik van magnetische velden om het gedrag van de geladen ionendeeltjes in het afzettingsproces van de magnetronsputter te regelen.Het proces vereist een hoogvacuümkamer om een omgeving met lage druk voor sputteren te creëren.Het gas waaruit het plasma bestaat, meestal argongas, komt als eerste de kamer binnen.
Er wordt een hoge negatieve spanning aangelegd tussen de kathode en de anode om de ionisatie van het inerte gas op gang te brengen.Positieve argonionen uit het plasma botsen met het negatief geladen doelmateriaal.Elke botsing van hoogenergetische deeltjes kan ervoor zorgen dat atomen van het doeloppervlak in de vacuümomgeving worden uitgeworpen en op het oppervlak van het substraat worden voortgestuwd.
Een sterk magnetisch veld produceert een hoge plasmadichtheid door de elektronen dicht bij het doeloppervlak op te sluiten, de afzettingssnelheid te verhogen en schade aan het substraat door ionenbombardementen te voorkomen.De meeste materialen kunnen fungeren als doelwit voor het sputterproces, aangezien het magnetronsputtersysteem geen smelten of verdampen van het bronmateriaal vereist.
Productparameters
Producten naam | Puur titanium doelwit |
Cijfer | Gr1 |
Zuiverheid | Meer 99,7% |
Dikte | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 stuks |
Hete verkoop maat | Φ95 * 40 mm Φ98 * 45 mm Φ100 * 40 mm Φ128 * 45 mm |
Sollicitatie | Coating voor PVD-machine |
Voorraad grootte | Φ98 * 45 mm Φ100 * 40 mm |
Andere beschikbare doelen | Molybdeen (Mo) Chroom (Cr) TiAl Koper (Cu) Zirkonium (Zr) |
Sollicitatie
■Geïntegreerde schakelingen coaten.
■Surface panel displays van flatpanels en andere componenten.
■Decoratie en glascoating, etc.
Welke producten kunnen we produceren
■Plat doelwit van zeer zuiver titanium (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Standaard schroefdraadaansluiting voor eenvoudige installatie (M90, M80)
■Onafhankelijke productie, betaalbare prijs (kwaliteit controleerbaar)
order informatie
Vragen en bestellingen moeten de volgende informatie bevatten:
■ Diameter, Hoogte (zoals Φ100*40mm).
■ Draadmaat (zoals M90 * 2 mm).
■ Hoeveelheid.
■ Zuiverheid eis.