De elektronenstraalverdampingsmethode is een soort vacuümverdampingscoating, waarbij elektronenstralen worden gebruikt om het verdampingsmateriaal direct onder vacuümomstandigheden te verwarmen, het verdampingsmateriaal te verdampen en naar het substraat te transporteren, en op het substraat te condenseren om een dunne film te vormen. In het elektronenstraalverwarmingsapparaat wordt de verwarmde substantie in een watergekoelde smeltkroes geplaatst, wat de reactie tussen het verdampingsmateriaal en de smeltkroeswand kan vermijden en de kwaliteit van de film kan beïnvloeden. Er kunnen meerdere smeltkroezen in het apparaat worden geplaatst om gelijktijdige of afzonderlijke verdamping en afzetting van verschillende stoffen te bereiken. Met elektronenbundelverdamping kan elk materiaal worden verdampt.
Verdamping met elektronenbundels kan materialen met een hoog smeltpunt verdampen. Vergeleken met verdamping door verwarming met algemene weerstand, heeft het een hoger thermisch rendement, een hogere bundelstroomdichtheid en een snellere verdampingssnelheid. Film en film van diverse optische materialen zoals geleidend glas.
Het kenmerk van verdamping van de elektronenbundel is dat deze niet of zelden de twee zijden van de driedimensionale structuur van het doel bedekt, en zich gewoonlijk alleen op het doeloppervlak afzet. Dit is het verschil tussen verdamping van elektronenbundels en sputteren.
Verdamping van elektronenbundels wordt algemeen gebruikt op het gebied van halfgeleideronderzoek en -industrie. De versnelde elektronenenergie wordt gebruikt om het materiële doel te raken, waardoor het materiële doel verdampt en opstijgt. Uiteindelijk op het doel afgezet.
Posttijd: 02-dec-2022