Metalen roterend doelwit
Er worden orthogonale magnetische en elektrische velden aangelegd tussen het sputterdoel (kathode) en de anode.En vul het vereiste inerte gas (meestal Ar-gas) in de hoogvacuümkamer.Onder invloed van een elektrisch veld wordt Ar-gas geïoniseerd tot positieve ionen en elektronen.Er wordt een bepaalde negatieve hoogspanning op het doel aangelegd, de elektronen die door het doel worden uitgezonden, worden beïnvloed door het magnetische veld, de ionisatiekans van het werkgas neemt toe, er wordt een plasma met hoge dichtheid gevormd nabij de kathode en de Ar-ionen worden beïnvloed door de Lorentzkracht.Versnel vervolgens om naar het doeloppervlak te vliegen en bombardeer het doeloppervlak met hoge snelheid, zodat de gesputterde atomen op het doel het principe van momentumomzetting volgen, van het doeloppervlak naar het substraat vliegen en een film met hoge kinetische energie afzetten.
Om de benuttingsgraad van het doelmateriaal verder te verbeteren, wordt een roterende kathode met een hoger gebruiksrendement ontworpen en wordt een buisvormig doelmateriaal gebruikt voor sputtercoating.De verbetering van sputterapparatuur vereist dat het doel wordt veranderd van een platte vorm in een buisvorm, en de benuttingsgraad van het buisvormige roterende doel kan oplopen tot 70%, wat het probleem van een laag gebruik van het platte doel grotendeels oplost.
Producten naam | Metalen roterend doelwit |
Materiaal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Hete verkoop maat | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Kan ook worden verwerkt volgens de specifieke eisen van klanten |
MOQ | 3 stukken |
Pakket | Ply houten kist |
Sollicitatie
Sputtercoating is een nieuw type fysieke dampcoatingmethode.Vergeleken met de verdampingscoatingmethode heeft het duidelijke voordelen
in vele opzichten.Metalen sputterdoelen zijn op veel gebieden gebruikt.De belangrijkste toepassing van roterend doel.
■Zonnepanelen
■Architectonisch glas
■Automatisch glas
■Halfgeleider
■Flatscreen-tv, enz
order informatie
Vragen en bestellingen moeten de volgende informatie bevatten:
☑Doelspecificatie ID×OD×L (mm).
☑Hoeveelheid Vereist.
☑Neem contact met ons op voor meer speciale wensen.